(۳-۶)
زمانیکه و را در معادلات(۳-۵) و(۳-۶) جایگزاری کنیم، ضرایب تبدیل عبارات که درآن :
(۳-۷)
وقتی که
(۳-۸)
سطح باقی مانده با کم کردن حداقل مربعات داده های برنامه از سطح اصلی بدست آمد که برای ارزیابی پارامتر مناسب است و در نهایت به صورت زیر بیان شد :

( اینجا فقط تکه ای از متن پایان نامه درج شده است. برای خرید متن کامل فایل پایان نامه با فرمت ورد می توانید به سایت feko.ir مراجعه نمایید و کلمه کلیدی مورد نظرتان را جستجو نمایید. )

(۳-۹)
که حداقل مربعات متوسط برنامه با جزئیات زیر محاسبه شد :
(۳-۱۰)
که مطابق با دو فرمول معادله (۳-۱۰)سطح باقی مانده ( ارتفاعات کمتر) باید صفر باشد[۳۸] .
از طرفی ما می توانیم کل نمونه یا آن قسمت را که انتخاب کرده ایم به وسیله دستگاه به صورت سه بعدی مشاهده کنیم و همچنین می توانیم نمودار اولیه آن را مشاهده کنیم، این نمودار توزیع و پخش بسامد همه پستی ها و بلندی ها از عکس نمایش داده شده را نشان می دهد.
شکل (۳-۳) نمودار توزیع و پخش بسامد
حال می خواهیم ناهمواری و پارامترهای آن را بدست آوریم قسمت های مختلف شکل را در هر راستا دلخواه x یا y یا z انتخاب کنیم. ما می توانیم پارامترهای ناهمواری قسمت انتخاب شده را بدست آوریم که قبل از این کار باید حداکثر دامنه برای این پارامتر ها را انتخاب کنیم که حداکثر اندازه طول موج در m را نشان می دهد.
که این انتخاب حداکثر دامنه روی مقادیر، اندازه زبری Ra و ماکزیمم ارتفاع پروفایل ناهمواری Rz تاثیر می گذارد و همان طور که گفتیم می توانیم در این قسمت مقادیر پارامترهای Ra، Rz، Rq، Rmax و Rms را بدست آوریم که در آن :
Ra : میزان ناهمواری
Rz : ماکزیمم ارتفاع ناهمواری
Rq : مقدارموثر که حساسیت بیشتری به قله ها و دره ها نسبت به Ra را دارد
Rmax : ماکزیمم ناهمواری سطح
Rms: میزان خطا
را نشان می دهند.
که دستگاه به صورت اتوماتیک مقدار این پارامترها را برای ما بدست می آورد ولی ما می توانیم به وسیله فرمول های مقادیر Ra و Rq را خود محاسبه کرده و ارتباط و تفاوت آنها با یکدیگر را بهتر درک کنیم :
(۳-۱۱)
وقتی که داده های دیجیتالی انتگرال را حساب کنیم Ra به طور تقریبی به صورت زیر در می آید :
(۳-۱۲)
بنابراین می توان مقدار موثرRq را به صورت زیر نوشت :
(۳-۱۳)
که به صورت تقریبی می توان آن را به شکل زیر نوشت :
(۳-۱۴)
که مقادیر L، z(x)، و N را نیز می توان به صورت اتوماتیک از خود دستگاه بدست آورد .
همچنین در این قسمت ما می توانیم عرض، ارتفاع قله ها و دره های موجود در این قسمت نمونه، زاویه و سطح قسمت انتخاب شده نمونه را بدست آوریم.
۳-۱-۲ پارامتر های اپتیکی در میکروسکوپ هم کانونی
این بخش درباره ثابت های الکتریکی لایه های نیمه هادی و روابط بین مشخصه های مختلف اپتیکی بحث می کند و همچنین درباره برخی تکنیک های اندازه گیری مشخصه های اپتیکی در لایه های پلی بلورین و آمورف توضیحاتی می دهد و در نهایت ارتباط بین ثابت های اپتیکی نیمه هادی های پرکاربرد توضیح داده خواهد شد. ضریب شکست مختلط ، به صورت زیر تعریف می شود:
(۳-۱۵)
و به سرعت انتشار نور در مواد (V) از طریق رابطه زیر مرتبط است :
(۳-۱۶) V =
که در آن c سرعت نور در خلاء، n ضریب شکست حقیقی و k ضریب میرایی می باشد.
شدت یک موج نور در یک محیط جاذب (I) طبق رابطه زیر بیان می شود:
(۳-۱۷) ) I = I ̥ exp(-
که در آن ضریب جذب و x فاصله نمونه از سطح تابندگی می باشد. با بهره گرفتن از رابطه میدان الکتریکی که در زیر آورده می شود با K ارتباط پیدا می کند :
(۳-۱۸) E = E ̥ exp
که λ طول موج نور در خلاء می باشد.
ثابت دی الکتریک را می توان با دو روش معرفی کرد. یک روش آن است که ثابت دی الکتریک ? حقیقی باشد و هر کاهشی را با رسانایی توصیف کنیم، که روشی است که وابسته به فرکانس است و معمولاً همانند رسانندگی dc نیست. بنابراین :
(۳-۱۹)
که فرکانس است. و دیگری ? را بتوانیم به صورت مختلط به شکل زیر تعریف کنیم :
(۳-۲۰)
پس از این رو داریم :
(۳-۲۱)
(۳-۲۲)
وقتی هیچ جذب نوری نداشته باشیم یعنی وقتی k=0 باشد، می توان این روابط را نتیجه گرفت :
(۳-۲۳)
زمانی که k = 0 باشد می توان را نتیجه گرفت. اگر در معادله
(۳-۲۴)